1959年前苏联学者里沃夫(В.B.ПьBOB)设计出石墨炉原子化器，1960年提出了电热原子化法(即非火焰原子吸收法)，使原子吸收分析的灵敏度有了极大提高。

1965年威尼斯(J.B.Willis)将氧化亚氮-乙炔火焰用于原子吸收法中，使可测定元素数目增至70个。

1967年马斯曼(H.Massmann)对里沃夫石墨炉进行改进，设计出电热石墨炉原子化器(即高温石墨炉)。

20世纪60年代后期发展了"间接原子吸收分光光度法"，使过去难以用直接法测定的元素和有机化合物的测定有了可能。

1971年美国瓦里安(Varian)公司生产出世界上*台纵向加热石墨炉，并首先发展Zeemen背景校正技术。

1981年原子吸收分析仪实现操作自动化。

1984年*台连续氢化物发生器问世。

1990年推出世界上*进的Mark V1焰燃烧头。

1995年在线火焰自动进样器(SIPS8)研制成功并投入使用。

1998年*台快速分析火焰原子吸收220FS诞生。

2002年世界上*套火焰和石墨炉同时分析的原子吸收光谱仪生产并投放市场。

现在，原子吸收分光光度计采用*的电子技术，使仪器显示数字化、进样自动化，计算机数据处理系统使整个分析实现自动化。

我国在1963年开始对原子吸收分光光度法有一般性介绍。1965年复旦大学电光源实验室和冶金工业部有色金属研究所分别研制成功空心阴极灯光源。1970年北京科学仪器厂试制成WFD-Y1型单光束火焰原子吸收分光光度计。现在我国已有多家企业生产多种型号、性能较先进的原子吸收分光光度计。

原子吸收分光光度法应用也有一定的局限性，即每种待测元素都要有一个能发射特定波长谱线的光源。原子吸收分析中，首先要使待测元素呈原子状态，而原子化往往是将溶液喷雾到火焰中去实现，这就存在理化方面的干扰，使对难溶元素的测定灵敏度还不够理想，因此实际效果理想的元素仅30余个;由于仪器使用中，需用乙炔、氢气、氩气、氧化亚氮(俗称笑气)等，操作中必须注意安全。